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體聲波諧振結(jié)構(gòu)及聲波器件

1676   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:11:02
本公開實(shí)施例提供一種體聲波諧振結(jié)構(gòu),包括:襯底;依次位于所述襯底上的反射結(jié)構(gòu)、第一電極、壓電層和第二電極;其中,所述第一電極在所述襯底的正投影與所述反射結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影的重疊區(qū)域?yàn)榈谝恢丿B區(qū);第一凸起結(jié)構(gòu),位于所述壓電層或所述第二電極相對(duì)遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè);其中,所述第一凸起結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影與所述第一重疊區(qū)至少部分重疊;第二凸起結(jié)構(gòu),至少部分位于所述第二電極相對(duì)遠(yuǎn)離所述襯底的一側(cè);其中,所述第二凸起結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影與所述第一凸起結(jié)構(gòu)在所述襯底的正投影至少部分重疊;修頻層,覆蓋所述第二電極、所述壓電層、所述第一凸起結(jié)構(gòu)和所述第二凸起結(jié)構(gòu)相對(duì)遠(yuǎn)離所述襯底的表面。
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